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ShenZhen City JinLai Technology Co., Ltd.
135-3805-8187 0769-88087892
小型实验型真空等离子清洗机 5L
产品型号：JL-VM05
产品功能：
对材料表面进行清洁、活化、改性。
提升材料表面润湿性，亲水性；
增强材料表面粘接力、附着力。
硅片、金属铜箔铝箔、有机玻璃、塑胶橡胶、高分子材料、PTFE、PCB等材料表面的清洁、处理，增强亲水性、粘接力。
产品参数
外观参数 | ||
外形尺寸 | 650*400*500 (宽*高*深） | |
重 量 | 55KG | |
等离子发生器系统 | ||
频 率 | 13.65MHz 射频 | |
功 率 | 300W （连续可调，精度为1W） | |
真空系统 | ||
真空腔体 | 材质 | 石英 |
腔体内部尺寸(MM) | φ155*260（直径*深度) | |
腔体容积 | 5 L | |
密封性 | 军工级焊接密封 | |
泵 | 真空泵 | 油泵/干泵 |
处理温度 | ＜60°C | |
流量计 | 浮子流量计 | |
气路控制 | 2路处理气体气路，气体流量可调 | |
真空度 | 10Pa --100Pa | |
工艺气体 | Ar、N₂、CF₄、O₂、H₂等（可选） | |
产品特点
- 实验型小巧灵活、操作简单、易维护。
- k8平台官网核心等离子技术，质量有保障。
- 触摸屏操作界面，数字及图标多重工艺参数实时显示。
- 针阀精密流量控制计，精度高。
- 316不锈钢材质,耐腐蚀，环保不产生金属污染。
- 多路工艺反应气体通道，保证产品清洗效果。
- 可以根据客户需求定制。
等离子清洗应用领域
等离子清洗作用
清 洗 去除材料表面物/颗粒/脏污物/氧化物、有机物，增加洁净度，提升亲水性、增强粘贴力；
活 化 将活性基团加入材料表面分子链中提高材料表面能，增加亲水性与活性；
改 性 保持材料或制品原性能的前提下，赋予其表面新的性能，如亲水性、生物相容性等；
除 胶 去除光刻胶、电路板去胶，除胶渣，提升材料表面的亲水性、附着力、粘接力；
刻 蚀 ICP硅刻蚀、CCP介质刻蚀、金属刻蚀，实现各向异性刻蚀，保证细小图形转移后的保真性；
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